以下制程的EXE:5000系列EUV光刻机。希望届时新的EUV光刻机能够进一步提升能效比。但是，单机的能耗恐怕难以实现大幅的降低。
根据之前的预测，台积电3nm半导体制造厂开启后，预计年耗电量将达到70亿度。而等到2nm制程Fab的量产，其耗电量必然将再度上升到一个新的台阶，未来台积电的用电量将有可能超过台湾总电量的10%。
“缺电”或成台湾半导体产业发展掣肘
需要指出的是，由于台湾的煤炭、石油、天然气、水利资源都比较匮乏，这也导致了台湾所需的能源99%需要靠进口。更为关键的是，在2011年日本大地震导致日本福岛第一核电站发生泄露之后，台湾就开始逐步“去核化”，这也进一步加重了台湾的能源危机。
当时的民进党主席蔡英文为了获得支持率，就抛出了“2025非核家园计划”，强调如果赢得“总统”大选，将最终在2025年完全停止核能发电。蔡英文当选之后，2017年2月，台湾地区立法机构正式通过的相关条文明确，核能发电设备应于2025年以前全部停止运转，以实现蔡英文提出的“2025非核家园”目标。
按照“2025非核家园”的规划，到2025年台湾天然气发电占总发电比例的50%，燃煤30%，绿色能源20%。而根据台电所发布的报告显示，2016年台电系统发、购电量为2258亿度，其中火力发电量占比达79.9%，再生能源占比为5.1%，抽蓄水力1.5%，核能为13.5%。而2016年台电备用容量率仅10.4%。考虑到未来台湾用电的增长，要在完全退出核能的同时，实现2025年“2025非核家园”的规划目标几乎是不可能。
在台湾当局通过“2025非核家园”目标数月之后，2017年8月15日，台湾发生全岛性大规模停电，受影响家庭近700万户（几乎是台湾全部人口）。而为了保护台湾的支柱产业——半导体产业，当地政府将当晚残存的电力全都供给了三大科学园区的半导体Fab厂，这才使得全球最大的晶圆代工厂台积电在这次停电中毫发无伤。但这也着实让当地政府及台积电大惊一场。要知道，一座先进制程的半导体产线停电几小时就有可能造成数千万美元的损失。
为了缓解日益紧张的用电危机，2018年11月，台湾当局“认怂”，“以核养绿”公投过关，废止了2025年核能发电设备全部停止运转的期限，这也使得2018年台湾核能供应相比2017年有所增加。但是蔡英文政府仍强调，非核家园仍是目标。
根据统计数据显示，2018年中国台湾地区能源供给总量为1.28亿吨油当量，以化石能源为主，占92.8%，非化石能源仅占7.2%。化石能源中，石油供给总量为6170万吨油当量，占能源供给总量的48.3%，煤炭3755万吨油当量，占29.4%，天然气1940万吨油当量，占15.2%。2018年非化石能源消费中，核能供给量很大，为688万吨油当量，占能源总供给的5.4%。其他能源品种：生物质及废弃物仅占