13台EUV，花费金额约120亿元人民币，该公司明年EUV机台数将超过50台。
而在今年10月，《BusinessKorea》曾报道，三星电子副会长李在镕到访荷兰ASML，亲自催促对方提前1个月交货9台EUV，以实现2030年超越台积电成为半导体代工龙头的目标。
2018年5月，中芯国际也曾花费1.2亿美元向荷兰ASML采购后者最先进的EUV光刻机。然而，在美国政府的各种阻挠之下，该订单至今也未能落地。
值得一提的是，在7nm及以下制程领域，全球仅剩台积电、三星、英特尔和中芯国际4个玩家。其中，英特尔和中芯国际的7nm工艺还未实现量产。
调研机构TrendForce统计的数据显示，今年二季度，台积电依然位居全球晶圆代工市场第一，市场份额达51.5%；排名第二的三星占据18.8%的市场；GlobalFoundries（格芯）排名第三，份额为7.4%；联电第四，份额为7.3%；中芯国际排名第五，份额为4.8%。